Опис производа
Срце производње чистих соба,Полупроводничке вакуумске пумпесу прецизно{0}}пројектоване да задовоље изузетно строге захтеве производње микроелектронике. Ове пумпе су дизајниране да испоруче савршено чисто, стабилно и{2}}окружење без вибрација, што је апсолутно критично за процесе у којима чак и микроскопска контаминација може довести до катастрофалног квара производа.производуниверзално користе дизајн{{0}без уља и{1}}отпорних на корозију, често користећи специјализоване материјале који могу да издрже агресивне процесне гасове. Они постижу неопходне високе нивое вакуума, типично до 0,001 Пасцал, са подесивим брзинама протока и пројектовани су да показују изузетно ниске профиле вибрација како би спречили оштећење деликатних наноструктура.
Њихова модуларна филозофија дизајна омогућава једноставну интеграцију у сложене сетове алата и олакшава лакше сервисирање, што је кључно за минимизирање скупог времена застоја алата. Примарна примена одПолупроводничке вакуумске пумпеје, као што име имплицира, у индустрији полупроводника, где се користе у практично сваком кораку производње чипова, од нагризања и таложења до јонске имплантације и литографије. Они су такође од виталног значаја у сродним областима као што су електронско паковање и производња фотонапонских ћелија. Осим електронике, ове пумпе се користе у машинама за гуму и пластику за обраду материјала високе -чистоће полупроводника-. У паковању хране, они помажу у развоју специјализованог паковања за осетљиве електронске компоненте. У оквиру наменских система вакуумског премаза,производсу од суштинског значаја за обављање процеса наношења премаза на нивоу полупроводника-који захтевају врхунску чистоћу и поузданост. Када успех вашег процеса зависи од беспрекорног и непоколебљивог вакуума,Полупроводничке вакуумске пумпесу дефинитивно и поуздано решење.
|
Основни параметри |
типеНумбер |
||||
|
ДЛТ.ЛГ180 |
ДЛТ.ЛГ360 |
ДЛТ.ЛГ630 |
ДЛТ.ЛГ800 |
ДЛТ.ЛГ1100 |
|
|
Брзина пумпања, м3/х |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Крајњи притисак, Па |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Брзина ротације, р/мин |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Бука Лп, дБ(А) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Максимална потрошња воде, Л/мин |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Пречник улаза, мм |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Пречник издувног отвора, мм |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Снага мотора, кВ |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Тежина главе пумпе, кг |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Popularne oznake: полупроводничке вакуум пумпе, Кина полупроводничке вакуум пумпе произвођачи, добављачи, фабрика
