Полупроводничке вакуумске пумпе

Полупроводничке вакуумске пумпе

Срце производње чистих просторија, полупроводничке вакуум пумпе су прецизно-конструисане да испуне изузетно строге захтеве производње микроелектронике. Ове пумпе су дизајниране да испоруче савршено чисто, стабилно и{2}}окружење без вибрација, што је апсолутно критично за процесе у којима чак и микроскопска контаминација може довести до катастрофалног квара производа. производи универзално користе дизајн{{4}без уља и{5}}отпорних на корозију, често користе специјализоване материјале који могу да издрже агресивне процесне гасове.

Опис производа

 

Срце производње чистих соба,Полупроводничке вакуумске пумпесу прецизно{0}}пројектоване да задовоље изузетно строге захтеве производње микроелектронике. Ове пумпе су дизајниране да испоруче савршено чисто, стабилно и{2}}окружење без вибрација, што је апсолутно критично за процесе у којима чак и микроскопска контаминација може довести до катастрофалног квара производа.производуниверзално користе дизајн{{0}без уља и{1}}отпорних на корозију, често користећи специјализоване материјале који могу да издрже агресивне процесне гасове. Они постижу неопходне високе нивое вакуума, типично до 0,001 Пасцал, са подесивим брзинама протока и пројектовани су да показују изузетно ниске профиле вибрација како би спречили оштећење деликатних наноструктура.

 

Њихова модуларна филозофија дизајна омогућава једноставну интеграцију у сложене сетове алата и олакшава лакше сервисирање, што је кључно за минимизирање скупог времена застоја алата. Примарна примена одПолупроводничке вакуумске пумпеје, као што име имплицира, у индустрији полупроводника, где се користе у практично сваком кораку производње чипова, од нагризања и таложења до јонске имплантације и литографије. Они су такође од виталног значаја у сродним областима као што су електронско паковање и производња фотонапонских ћелија. Осим електронике, ове пумпе се користе у машинама за гуму и пластику за обраду материјала високе -чистоће полупроводника-. У паковању хране, они помажу у развоју специјализованог паковања за осетљиве електронске компоненте. У оквиру наменских система вакуумског премаза,производсу од суштинског значаја за обављање процеса наношења премаза на нивоу полупроводника-који захтевају врхунску чистоћу и поузданост. Када успех вашег процеса зависи од беспрекорног и непоколебљивог вакуума,Полупроводничке вакуумске пумпесу дефинитивно и поуздано решење.

 

Основни параметри

типеНумбер

ДЛТ.ЛГ180

ДЛТ.ЛГ360

ДЛТ.ЛГ630

ДЛТ.ЛГ800

ДЛТ.ЛГ1100

Брзина пумпања, м3/х

143

354

625

780

994

Крајњи притисак, Па

2

2

1

1

1

Брзина ротације, р/мин

2900

2900

2900

2900

2900

Бука Лп, дБ(А)

82

83

83

84

85

Максимална потрошња воде, Л/мин

8

15

25

35

45

Пречник улаза, мм

50

50

65

100

100

Пречник издувног отвора, мм

40

40

50

80

80

Снага мотора, кВ

4

7.5

15

18.5

22

Тежина главе пумпе, кг

245

350

550

630

780

Popularne oznake: полупроводничке вакуум пумпе, Кина полупроводничке вакуум пумпе произвођачи, добављачи, фабрика

Pošalji upit